实验室真空变温电学测试平台，外部可移动探针臂精准点针，为真空变温实验提供解决方案，同时可集成显微镜、光谱系统进行材料表征。

┃ 设备特点

• 温度范围 -190℃～400℃，RT~1000℃

• 温度稳定性 ±0.05℃

• 样品区 Φ26mm

• 探针数量 4~7个

• 电学接头 BNC 三同轴BNC 可选

• 台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选 探针臂行程 粗调 20mm*20mm，微调 10mm*10mm*3mm，精度＜10um

• 适配仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS