原位电学测试平台,适用于半导体材料、器件变温下的电学测试,设计小巧,便携集成显微、光谱系统。
┃ 设备特点
温度范围 -190℃~600℃,RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
气氛保护、真空
样品区 28x30mm
探针数量 4个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
适配光学仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS