外形尺寸

278(L)×494(H)×467(D) mm

供电要求

AC220V/50Hz  ＜1000W

溅射靶材

Φ50mm，厚度0.1-2mm

可用靶材

所有金属、导电材料等

工作电流

1-200mA可调（步长：1mA）

镀膜时间

1-9999s可调（步长：1s）

蒸发源

高纯碳纤维

蒸发模式

闪断模式、脉冲模式

真空室

170(L)×150(H)×163.5(D) mm

一体加工金属腔室

极限真空

≤5×10-3Pa

真空泵

旋片泵（可选干泵）+分子泵

主真空泵抽速

90L/s

预溅射

全自动预溅射系统，防止样品污染及组件污染、提高镀膜纯度

样品台

Φ80mm，支持旋转、升降及倾斜功能

其它

真空度、工作电流可实时曲线显示