主机尺寸

278(L)×494(H)×467(D) mm

显示屏

7 英寸触摸屏、全数字显示

蒸发源

高纯碳纤维（φ0.8mm）

蒸发源数量

4 根

蒸发模式

闪断模式、脉冲模式

工作模式

全自动一键式操作

预热除气

可根据需要设置

除气挡板

全自动

真空泵

旋片泵（可选干泵）+分子泵

主真空泵抽速

90L/s

真空室

170(L)×150(H)×163.5(D) mm

一体加工金属腔室

极限真空

≤5×10-3Pa

供电

AC220V/50Hz

额定功率

800W

蒸发源状态

通电自检，屏幕实时显示蒸发源状态

预溅射

全自动预溅射清洁功能，配合防污染挡板，防止样品污染、提高镀膜纯度

样品台

Φ80mm，支持旋转、升降及倾斜功能

其它

真空度、工作电流可实时曲线显示