外形尺寸

245(L)×270(H)×360(D) mm

显示屏

5 英寸触摸屏、全数字显示

可用靶材

Au、Pt、Ag

靶材尺寸

Φ38mm，厚度支持0.1-2mm

工作电流

1-35mA可调

镀膜时间

1-9999s可调

真空泵

旋片式真空泵（可选干泵）

真空泵抽速

1.1L/s

真空室

φ100×80mm 高强度玻璃

极限真空

≤0.5Pa

工作介质

氩气或氮气（空气）

工作真空

1-20Pa可调

供电

AC220V/50Hz

额定功率

500W

样品台

Φ80mm，可放置14个标准样品座，与靶材距离20-45mm可调节

其它

真空度、工作电流实时显示