型号：AT-200MPlus（等离子体增强+热原子层沉积）
技术参数：
· 尺寸 (L*W*H): 35.5*38.1*56.8cm
· 粉末涂层可选 (容量可达～ 10cm^3)
· 可放置2英寸×2英寸×3英寸或两个2英寸圆片(可定制的卡盘和我们的粉末涂层选项)的样品
· 3个前驱体端口 (1 个 MFC,2 个罐 ), 6个可选端口 (最多2个MFC, 4个罐),带高达 150℃的伴热管路 (HT套件至180℃)
· 带空心阴极等离子体 (13.56RF, 80W)
· 通风前驱体外壳
· 耐高温的快速脉冲ALD阀门，配备超快MFC进行集成惰性气体吹扫-标准
· 全不锈钢腔室，温度范围可达300℃
· 静态反应模式下可实现高覆盖
· 带集成PLC控制的5英寸显示屏
· 包括终身软件升级
· 1 年保修
选项 ：真空泵，4个端 口，臭氧发生器 (AT-03), 瓶加热器，QCM, 远程 PC控制，ALD前驱体， 手套箱， HT套件 (前驱体至180°C), 起泡器， 粉末喷涂机，加热卡盘 (至 450℃)
设备特点：
1. 台式ALD原子层沉积，占地面积小；
2. 热型并且可升级等离子体加强功能；
3. 可以选配粉末包裹功能，特别适合电池研究领域的客户；
4. 体积到可以直接放到手套箱里面操作，特别适合电池研究领域的客户；
5. 操作安装极其简单，便于实验室不同人员操作实验。
应用领域：
特别推荐在能源领域的应用
1. 锂离子电池领域的应用
原子层沉积(ALD)由于其独特的共形沉积和简单精确的膜厚控制特点，在纳米结构的纳米级薄膜包裹方面有着巨大的优势和应用前景。大量的研究表明，采用ALD对电极材料进行纳米级薄膜包裹，能够有效地改性电池材料、提高电池性能。除此之外，ALD还可以用来合成制备锂离子电池的正极、负极和固态电解质材料。
2. ALD在太阳能电池领域的应用
ALD技术在太阳能电池领域的应用主要包括:①纳米结构光电极的制备;②电极表面修饰钝化;③通过量子点或是金属纳米颗粒对电极表面进行敏化;④对染料敏化太阳能电池和薄膜太阳能电池进行能带调控。
3. ALD在超级电容器领域的应用
ALD技术不仅能够用来制备高比容量的电极活性材料，也能制备纳米结构,稳定和提升电极材料的性能，在高容量、高稳定的超级电容器领域发挥出重要的作用。
4. ALD在燃料电池领域的应用
ALD在燃料电池领域有着广泛的应用:可以通过调节金属催化剂的成分(如双金属纳米颗粒)、金属纳米颗粒的大小来获得适用于燃料电池的高活性催化剂;②在纳米结构上沉积金属颗粒来制备燃料电池的阳极;③制备高性能的固体电解质，以降低燃料电池的工作温度;④在电极表面形成保护层提高电池的稳定性和性能。
5. ALD在光电化学分解水领域的应用
ALD技术由于其独特的生长特性，不仅可以制备光活性层，还可以在光电极上沉积性能增强层或稳定层，解决了影响光电化学电池分解水领域的一些难题。
