AT410/AT610/AT810系列

实验室性价比最高的ALD

应用范围：
原子层沉积系统是专门为科研和工业小型化量产用户而设计的单片/多片沉积系统。AT系列 系统 电气完全符合CE标准，广泛应用于微电子、纳米材料、光学薄膜、太阳能电池等领域。可以沉积的材 料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。