型号：AT-200MPlus（等离子体增强+热原子层沉积）

技术参数：

l  尺寸小到可以放到手套箱

l  粉末涂层可选

l  可放置2英寸x2英寸x3英寸或两个2英寸圆片(可定制的卡盘和我们的粉末涂层选项)的样品。

l  全不锈钢腔室，温度范围可达300°C

l  静态处理模式下可实现高曝光

l  带集成PLC控制的5英寸显示屏

选项:真空泵、臭氧发生器(AT-03)，瓶加热器，QCM，远程PC控制等

设备特点：

1.      台式ALD原子层沉积，占地面积小；

2.      热型并且可升级等离子体加强功能；

3.      可以选配粉末包裹功能，特别适合电池研究领域的客户；

4.      体积到可以直接放到手套箱里面操作，特别适合电池研究领域的客户；

5.      操作安装极其简单，便于实验室不同人员操作实验。

应用领域：

特别推荐在能源领域的应用

1.      锂离子电池领域的应用

原子层沉积(ALD)由于其独特的共形沉积和简单精确的膜厚控制特点，在纳米结构的纳米级薄膜包裹方面有着巨大的优势和应用前景。大量的研究表明，采用ALD对电极材料进行纳米级薄膜包裹，能够有效地改性电池材料、提高电池性能。除此之外，ALD还可以用来合成制备锂离子电池的正极、负极和固态电解质材料。

2.      ALD在太阳能电池领域的应用

ALD技术在太阳能电池领域的应用主要包括:①纳米结构光电极的制备;②电极表面修饰钝化;③通过量子点或是金属纳米颗粒对电极表面进行敏化;④对染料敏化太阳能电池和薄膜太阳能电池进行能带调控。

3.      ALD在超级电容器领域的应用

ALD技术不仅能够用来制备高比容量的电极活性材料，也能制备纳米结构,稳定和提升电极材料的性能，在高容量、高稳定的超级电容器领域发挥出重要的作用。

4.      ALD在燃料电池领域的应用

ALD在燃料电池领域有着广泛的应用:可以通过调节金属催化剂的成分(如双金属纳米颗粒)、金属纳米颗粒的大小来获得适用于燃料电池的高活性催化剂;②在纳米结构上沉积金属颗粒来制备燃料电池的阳极;③制备高性能的固体电解质，以降低燃料电池的工作温度;④在电极表面形成保护层提高电池的稳定性和性能。

5.      ALD在光电化学分解水领域的应用

ALD技术由于其独特的生长特性，不仅可以制备光活性层，还可以在光电极上沉积性能增强层或稳定层，解决了影响光电化学电池分解水领域的一些难题。