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功能/工序
Function / process
1)配料室
2)混料研磨室
3)化学制备
4)高温烧结室
5)样品制作

7)形貌成分表征

    ・SEM/AFM

    ・SEM+能谱

    ・TEM

    ・PFM

    ・拉曼

    ・XRD

6)性能测试

    ・电学性能表征和测试

    ・铁电

    ・压电 

    ・介电

    ・电阻/电阻率

    ・电卡效应

    ・电击穿

    ・充放电